光致產(chǎn)酸劑PAG

 在半導(dǎo)體集成電路光刻技術(shù)開始使用深紫外（DUV）光源以后，化學(xué)放大（CAR）技術(shù)逐漸成為行業(yè)應(yīng)用的主流?；瘜W(xué)放大光刻膠包括包括KrF光刻膠（聚對(duì)羥基苯乙烯樹脂體系）和ArF光刻膠（聚甲基丙烯酸酯樹脂體系）以及部分EUV光刻膠，使用光致酸劑（PAG）作為光敏材料。

PAG（光致產(chǎn)酸劑）的作用是在光照下分解產(chǎn)生酸，在曝光后烘烤過程中作為催化劑，使得聚合物發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng)，懸掛的酸不穩(wěn)定基團(tuán)脫落，并產(chǎn)生新的酸。懸掛基團(tuán)的脫落改變了樹脂的堿溶解性，有足夠多的懸掛基團(tuán)脫落后，曝光部分和未曝光部分的溶解性產(chǎn)生差異，樹脂就能溶于顯影液。正是這一原理使得半導(dǎo)體光刻膠中的樹脂在曝光區(qū)的顯影液中可溶解，在非曝光區(qū)不溶解，最終實(shí)現(xiàn)光刻圖形的轉(zhuǎn)移，圖示如下：

目前，ArF光刻膠常用PAG仍是KrF光刻膠PAG主流，主要包括有硫鎓鹽、碘鎓鹽和N-羥基琥珀酰亞胺磺酸酯。與KrF光刻膠相比，ArF光刻膠主體樹脂不含苯環(huán)，沒有酚羥基，因此電子無法從樹脂轉(zhuǎn)移到PAG，不存在敏化產(chǎn)酸。且ArF激光的強(qiáng)度相對(duì)較低以及光刻膠中常用的酸敏基團(tuán)結(jié)合能較高，因此在ArF光刻膠中，PAG的產(chǎn)酸效率比KrF低，需要靈敏度和產(chǎn)酸效率更高且酸性更強(qiáng)的光制產(chǎn)酸劑以實(shí)現(xiàn)ArF光刻膠的化學(xué)放大。

PAG的產(chǎn)酸效率、熱穩(wěn)定性、產(chǎn)酸強(qiáng)度以及光解后的透明度對(duì)光刻膠的性能影響很大。光酸的擴(kuò)散長度直接決定了光刻膠的性能及一些重要參數(shù)，如曝光能量、能量窗口、邊緣粗糙度、圖形形貌以及掩模版誤差增強(qiáng)因子等。優(yōu)秀的光酸要實(shí)現(xiàn)在溶解性、穩(wěn)定性、靈敏度和工藝窗口之間達(dá)到最優(yōu)的平衡。

此外，為了提高PAG的產(chǎn)酸效率，可以添加酸增殖劑，酸增殖劑主要有各類磺酸酯，如芐基磺酸酯、乙酰乙酸酯磺酸衍生物、縮酮類磺酸酯、環(huán)己二醇磺酸酯、三惡烷磺酸酯等。

市場規(guī)模與售價(jià)

1. 市場規(guī)模

2020年，全球光引發(fā)劑市場（包含UV涂料、UV印刷油墨、PCB油墨）銷售額達(dá)到了6.8 億美元，預(yù)計(jì)2027 年將達(dá)到約11 億美元，2020-2027 年CAGR 為4.57%。

此外，根據(jù)Lucintel樂觀預(yù)測(cè)，2023年全球光引發(fā)劑市場規(guī)模預(yù)計(jì)將達(dá)到12.944億美元（僅參考）。

PAG僅用于化學(xué)放大型光刻膠，據(jù)業(yè)內(nèi)數(shù)據(jù)，亞太市場規(guī)模約5億美金；杜邦份額若按8%計(jì)算，則推算出全球市場規(guī)模約5.4億美金（約34億元人民幣），CAGR約5%-10%。

2.價(jià)格

根據(jù)容大感光披露的數(shù)據(jù)，2018-2020H1，隨著上游供應(yīng)商的競爭結(jié)構(gòu)逐漸穩(wěn)定，PI采購價(jià)格總體下降，2020 上半年的采購均價(jià)為131.46 元/ kg。

目前，半導(dǎo)體光刻膠用的光敏材料主要還是依賴于海外進(jìn)口，不同品質(zhì)的光敏材料的價(jià)格差異巨大。以國內(nèi)PAG對(duì)應(yīng)的化學(xué)放大型光刻膠來看， KrF光刻膠用PAG的價(jià)格在0.5-1.5萬元/kg，而 ArF光刻膠用PAG的價(jià)格約1.5-30萬元/ kg，價(jià)差可達(dá)20倍。在用量上，與KrF光刻膠相比，ArF光刻膠的PAG用量更少。

和PAG相比，PAC在光刻膠中的用量大且價(jià)格低，一般來看，其在光刻膠中的使用量與對(duì)應(yīng)樹脂使用量差不多。i線光刻膠使用的PAC價(jià)格約在600-700元/ kg左右。

產(chǎn)業(yè)化難點(diǎn)

1.合成和純化

簡單結(jié)構(gòu)的光敏劑一步兩步就可以合成，而復(fù)雜結(jié)構(gòu)的光敏劑需要5-6步甚至7-8步的合成步驟，步驟越長，每一步可能產(chǎn)生的雜質(zhì)越多，造成純化困難，最終的收率也會(huì)越低。

對(duì)于離子型PAG而言，其和金屬離子同屬離子態(tài)，性質(zhì)有類似的地方，所以較難分開，這使得金屬離子雜質(zhì)的去除變得十分困難，純度的檢測(cè)也面臨挑戰(zhàn)，涉及離子型的化合物難以通過常規(guī)手段實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確檢測(cè)，比如HPLC（高效液相色譜）或核磁并不能反應(yīng)化合的真實(shí)純度，這就要求研發(fā)機(jī)構(gòu)擁有先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備。

2.生產(chǎn)環(huán)境要求高

光敏劑的生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求較高，一般需要黃光和潔凈的環(huán)境，工廠的潔凈度需要達(dá)到至少萬級(jí)。

3.質(zhì)量穩(wěn)定性

光敏劑質(zhì)量的穩(wěn)定性主要體現(xiàn)在純度的穩(wěn)定，以PAG為例，實(shí)現(xiàn)金屬離子含量小于10ppb相對(duì)比較容易，但要使每一批次里的金屬離子含量小于1ppb則十分困難，目前僅世界上頭部企業(yè)能夠做到。因此，國內(nèi)主要的光刻膠公司大多還是使用進(jìn)口PAG。

4.LCD用PI：高感度和穩(wěn)定性

LCD光刻膠中含有彩色顏料且占比日趨增大，顏料具有一定的遮光作用，所以 LCD 光刻膠中要求使用更高感度的光引發(fā)劑。而高感度光引發(fā)劑性質(zhì)通常不穩(wěn)定，容易影響顏料光刻膠的儲(chǔ)存穩(wěn)定性。因此，如何兼具高感度和穩(wěn)定性，成為了主要技術(shù)難點(diǎn)。

5.PAG：控制酸擴(kuò)散

PAG在光的照射下產(chǎn)生酸，酸產(chǎn)生后開始擴(kuò)散，需要將其擴(kuò)散范圍限制在曝光區(qū)，不能擴(kuò)散至非曝光區(qū)，控制的精度需達(dá)到納米級(jí)別。因此，高精度控制酸的擴(kuò)散是PAG性能控制的主要難點(diǎn)。

樹脂單體與樹脂

1、樹脂單體

1.主要成分

單體是樹脂的上游原材料，在高分子合成的過程中聚合成樹脂，其性能和質(zhì)量穩(wěn)定性決定著樹脂的性能和質(zhì)量穩(wěn)定性，從而保證最終光刻膠的穩(wěn)定性和一致性。簡而言之，要生產(chǎn)質(zhì)量好的光刻膠，就必須擁有性能良好、質(zhì)量穩(wěn)定的單體。

傳統(tǒng)I 線單體主要是甲基酚和甲醛；KrF 單體主要是苯乙烯類單體，性狀是液體；ArF 單體主要是甲基丙烯酸酯類單體，性狀有固體也有液體。光刻膠單體的性能指標(biāo)包括純度、水份、酸值、金屬離子含量等指標(biāo)。同時(shí)，不同光刻膠單體做成樹脂的收率不同（收率指單位數(shù)量單體最終聚合而成的樹脂數(shù)量）。具體來看，KrF單體做成KrF樹脂的收率相對(duì)較高，1噸單體大約可產(chǎn)生0.8-0.9噸樹脂；ArF的收率相對(duì)低，1噸單體大約產(chǎn)生0.5-0.6噸ArF樹脂。

2.價(jià)格

根據(jù)富士經(jīng)濟(jì)相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2019年KrF和ArF單體的銷售價(jià)格分別為2600元/kg和16000元/kg。目前，一般的 I線單體售價(jià)約為100-200元/公斤，KrF單體售價(jià)約為500-1000元/公斤，ArF干法和濕法的單體售價(jià)約為3000-10000元/公斤不等，取決于使用量和純化難度。

3.產(chǎn)業(yè)化難點(diǎn)

光刻膠樹脂單體的產(chǎn)業(yè)化有六大難點(diǎn)：

1）合成和純化時(shí)需要防止單體聚合；

2）光刻膠單體種類繁多，針對(duì)不同的單體必須研究不同的合成方法，難易不一。半導(dǎo)體級(jí)光刻膠單體的合成技術(shù)難度更大。

3）高純度要求：單體的純度要求有時(shí)要達(dá)到99.9%以上，且不同單體物質(zhì)的純度通常需要通過氣相（GC）、液相（HPLC）、凝膠色譜（GPC）等不同的方法來檢測(cè)。

4）金屬離子控制：面板級(jí)別的單體結(jié)構(gòu)是環(huán)氧乙烷類，純度要求或僅99.0%，金屬離子含量最少小于100ppb即可；半導(dǎo)體級(jí)單體中尤其是ArF 單體中的金屬離子含量要達(dá)到1ppb 以下（即10 億分之一），研發(fā)人員可能需要嘗試多種方案才能達(dá)標(biāo)。

5）工藝放大：實(shí)驗(yàn)室中生產(chǎn)的達(dá)標(biāo)單體并不能滿足客戶需求，還需要通過穩(wěn)定的規(guī)?；慨a(chǎn)來實(shí)現(xiàn)工業(yè)級(jí)供應(yīng)，環(huán)境控制與質(zhì)量管控也至關(guān)重要。

2、樹脂

1.主要成分

光刻膠樹脂是高分子聚合物，由單體聚合而成，構(gòu)成了是光刻膠的骨架，也是光刻膠最核心的成分，對(duì)光刻膠的性能而言至關(guān)重要。樹脂具有高分子的一些物理特性，如成膜特性、 Tg（玻璃化溫度）等；此外也有一定的化學(xué)特點(diǎn)，樹脂必須可以與在光照下光致產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的酸反應(yīng)，或發(fā)生脫保護(hù)（化學(xué)放大型光刻膠），或與其他組分結(jié)合(傳統(tǒng)G/I線光刻膠)，或發(fā)生交聯(lián)(負(fù)膠），從而發(fā)生在顯影液中溶解度的變化。以化學(xué)放大型光刻膠為例，樹脂上有一個(gè)控制其在顯影液中溶解的開關(guān)——不溶性懸掛基團(tuán)，當(dāng)開關(guān)關(guān)閉時(shí)，樹脂不在顯影液中溶解；而在曝光過程中，光酸分解出的酸與不溶性懸掛基團(tuán)反應(yīng)，相當(dāng)于把開關(guān)打開，使樹脂能夠在顯影液中溶解，實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移。

光刻膠原料中，樹脂質(zhì)量占比雖然不高，但其控制光刻膠主要成本。根據(jù)南大光電公告，ArF樹脂以丙二醇甲醚醋酸酯為主，質(zhì)量占比僅5%-10%，但成本占光刻膠原材料總成本的97%

光刻膠使用的樹脂類型主要有線性酚醛樹脂、側(cè)鏈具備金剛烷或內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的甲基丙烯酸樹脂、PHS(聚對(duì)羥基苯乙烯)/HS-甲基丙烯酸酯共聚物等合成樹脂。酚醛樹脂用于i線光刻膠，一般是間甲酚、對(duì)甲酚與甲醛的縮合物；聚對(duì)羥基苯乙烯類樹脂用于KrF光刻膠，單體為對(duì)羥基苯乙烯的衍生物單體；用于ArF的樹脂通常在側(cè)鏈上引入多元脂環(huán)結(jié)構(gòu)以提高抗干法蝕刻性，在側(cè)鏈上引入極性基團(tuán)以提高粘附性。主要有丙烯酸樹脂、馬來酸酐共聚物、環(huán)化共聚物等。

樹脂的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)涉及單體的種類和比例，會(huì)直接決定光刻膠在特定波長下可以達(dá)到的線寬，也會(huì)影響ADR（堿溶解速率）的特性，從而決定曝光能量（EOP）等因素，并對(duì)如EL（能量窗口），LWR (線寬邊緣粗糙度）等因素產(chǎn)生影響。此外，樹脂的分子量、分散度等也會(huì)影響光刻膠的膠膜厚度、耐刻蝕性、附著力等基本性能。

2.合成方法

樹脂可以通過酚醛縮合反應(yīng)，陽離子聚合，陰離子聚合，活性自由基聚合等高分子合成方法進(jìn)行合成。目前已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化的兩種合成技術(shù)對(duì)比：

3.價(jià)格與市場規(guī)模

根據(jù)富士經(jīng)濟(jì)數(shù)據(jù)，KrF膠樹脂售價(jià)穩(wěn)定在5000元/kg，ArF膠樹脂售價(jià)近30000元/kg，預(yù)計(jì)未來價(jià)格趨勢(shì)稍向下走。半導(dǎo)體光刻膠樹脂售價(jià)高昂原因在于全球ArF/KrF光刻膠需求逐年上升，以及國內(nèi)核心制備技術(shù)的匱乏。

預(yù)計(jì)2023年，全球ArF和KrF樹脂規(guī)模達(dá)到40億元。

4.產(chǎn)業(yè)化難點(diǎn)：

1）分子和分子量控制

主要在于分子量和分子量分布的寬度、形態(tài)的控制，以及功能單體在其中的分布形態(tài)。一般而言，分子量越高，排列后的邊緣粗糙度就越大；分子量越低，則邊緣粗糙度相對(duì)較小。

隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的推進(jìn)，樹脂分子量趨向于越來越低，但是隨著分子量降低，所形成的鏈也相應(yīng)變短，會(huì)對(duì)功能單體分布的均勻性產(chǎn)生影響，而微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)微變化會(huì)對(duì)樹脂材料最終性能產(chǎn)生巨大的影響。所以在樹脂材料的開發(fā)過程中，不但要控制其分子量分布，而且要控制分子量分布的形態(tài)，并非某一種固定的形態(tài)是最好的，而要考慮不同類別的分子如何更好地結(jié)合。

2）放大的穩(wěn)定性和金屬離子的去除

放大是指樹脂從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)進(jìn)化到工業(yè)化的批量生產(chǎn)，放大的穩(wěn)定性主要是指每次生產(chǎn)的分子量和PDI 要保持一致，在生產(chǎn)管理控制上和質(zhì)量控制上需要嚴(yán)格把關(guān)。金屬離子大部分要求小于1ppb, 甚至要到ppt 級(jí)。

3）供應(yīng)穩(wěn)定：

單體的供應(yīng)要穩(wěn)定，單體的質(zhì)量也要穩(wěn)定。對(duì)下游客戶來說，樹脂也必須要做到穩(wěn)定供應(yīng)，包括質(zhì)量穩(wěn)定和交貨周期的穩(wěn)定性。

溶劑

1、主要類別

由于光引發(fā)劑和添加劑都是固態(tài)物質(zhì)，需要將其加入溶劑進(jìn)行溶解，形成液態(tài)物質(zhì)，使之具有良好的流動(dòng)性，便于后續(xù)均勻旋涂。目前應(yīng)用于光刻膠的主要溶劑為PGMEA(丙二醇甲醚酸醋酯，亦簡稱PMA)，分子式為C6H12O3，無色吸濕液體，有特殊氣味，是一種對(duì)極性和非極性物質(zhì)均有較強(qiáng)溶解力的溶劑，主要用于油墨、油漆、紡織染料、紡織油劑，也可用于液晶顯示器生產(chǎn)中的清洗劑，適用于溶解氨基甲基酸酯、乙烯基、聚酯、纖維素醋酸酯、醇酸樹脂、丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂硝化纖維素等多類樹脂。

相較于光刻膠樹脂及單體來講，溶劑的制備技術(shù)難度要低得多，在國內(nèi)的可獲得性也較高。

2、市場規(guī)模與售價(jià)

據(jù)化工市場信息公眾號(hào)資料，2019年，我國PMA市場需求量約為28萬噸；截至2020年9月末，國內(nèi)PMA產(chǎn)能合計(jì)約44萬噸/年。受前期產(chǎn)能盲目擴(kuò)張的影響，導(dǎo)致目前國內(nèi)PMA產(chǎn)能過剩嚴(yán)重，近幾年國內(nèi)PMA產(chǎn)業(yè)開工率始終徘徊在50%-65%。預(yù)計(jì)到2025年，國內(nèi)PMA的消費(fèi)量約為38萬噸，年均增長率約為5%。全國整體市場平均價(jià)格在14000-16000元/噸左右。

產(chǎn)業(yè)格局分析

1、主要廠商

全球格局

根據(jù)trendbank數(shù)據(jù)，全球光刻膠原料的主要生產(chǎn)企業(yè)超過40家，按所屬地進(jìn)行分類，分別位于日本、美國、中國、韓國、英國以及荷蘭。其中日本企業(yè)最多，占據(jù)全球光刻膠原材料生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量的49%。雖然中國企業(yè)數(shù)量占比29%，但產(chǎn)量和規(guī)模較小，且品種規(guī)格較為單一，主要原料仍然依賴進(jìn)口，日韓及歐美廠商仍占據(jù)主要地位。

全球范圍內(nèi)光刻膠樹脂大廠分為兩類：一類是自產(chǎn)樹脂的光刻膠廠商，如信越化學(xué)、杜邦，掌握著樹脂合成、光刻膠配方的技術(shù)專利；另一類是專門生產(chǎn)樹脂的生產(chǎn)商，如東洋合成、住友電木、三菱化學(xué)、日本綜研化學(xué)、日本迪愛生等，為光刻膠廠商提供定制化的樹脂。

2、行業(yè)特點(diǎn)

1.市場集中度高

光刻膠是 PCB、LCD 和半導(dǎo)體等各應(yīng)用行業(yè)的上游材料，一般相同用途的光刻膠，由于投資大、市場比下游應(yīng)用行業(yè)小，行業(yè)集中度非常高，只能有幾家企業(yè)生存。光刻膠專用化學(xué)品具有相似特征，即品種多、用量小、品質(zhì)要求高，投資相對(duì)普通化學(xué)品大，行業(yè)集中度高。以 PCB 制造過程中使用的干膜光刻膠為例，2011-2013 年全球干膜光刻膠廠家前五名就占據(jù)了全球市場份額 98%。光刻膠專用化學(xué)品生產(chǎn)廠家也相對(duì)集中。

2.“投入產(chǎn)出比”低

在國內(nèi)現(xiàn)有廠商中，無論是光敏劑還是樹脂，光刻膠只是其產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域之一，僅光刻膠領(lǐng)域的銷售額并不足以支撐整個(gè)企業(yè)。相應(yīng)地，原材料企業(yè)若想成功穿越漫長的研發(fā)和驗(yàn)證周期，就對(duì)企業(yè)自身的經(jīng)營狀況有一定要求，至少要有穩(wěn)定的現(xiàn)金流業(yè)務(wù)來對(duì)沖研發(fā)失敗的風(fēng)險(xiǎn)。

我國高端光刻膠原材料尚未實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，一方面原因是技術(shù)積累不足，技術(shù)瓶頸的確有待突破，另一方面，光刻膠原材料品類多、應(yīng)用面狹窄，對(duì)質(zhì)量、穩(wěn)定性要求極高，對(duì)供應(yīng)商的認(rèn)證時(shí)間長，導(dǎo)致原材料企業(yè)在研發(fā)環(huán)節(jié)、認(rèn)證環(huán)節(jié)都需要花費(fèi)大量精力和時(shí)間，與此同時(shí)每種單一品類原材料的市場規(guī)模又都不大，留給下游的利潤空間有限，對(duì)于原材料供應(yīng)商來說投入產(chǎn)出比較低，缺乏商業(yè)動(dòng)機(jī)去強(qiáng)行入局與壟斷公司展開競爭。

3.緊密的行業(yè)上下游關(guān)系

光刻膠隨著終端電子產(chǎn)品的推陳出新，更新?lián)Q代也比較快。光刻膠廠家出于技術(shù)保密的考慮，一般和原料供應(yīng)商進(jìn)行密切合作，共同開發(fā)新技術(shù)；同時(shí)光刻膠專用化學(xué)品行業(yè)客戶轉(zhuǎn)換成本大，這些特點(diǎn)使得光刻膠行業(yè)上下游相互依賴、關(guān)系非常緊密，供應(yīng)商通過認(rèn)證之后往往不會(huì)輕易更換。

3、行業(yè)壁壘

光刻膠專用化學(xué)品化學(xué)結(jié)構(gòu)特殊、保密性強(qiáng)、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、品質(zhì)要求苛刻，生產(chǎn)、檢測(cè)、評(píng)價(jià)設(shè)備投資大，整體而言行業(yè)壁壘非常高，具體如下：

1.技術(shù)壁壘

光刻膠原材料生產(chǎn)企業(yè)需要具備光化學(xué)、有機(jī)合成、高分子合成、精制提純、微量分析、性能評(píng)價(jià)等技術(shù)，具有較高的技術(shù)壁壘。光刻膠原材料需具備產(chǎn)品批次間 性能指標(biāo)穩(wěn)定、微粒子及金屬離子含量極低等嚴(yán)苛的條件，要求企業(yè)具備嚴(yán)格的生產(chǎn)體系管理和對(duì)不純物的控制、特殊的純化技術(shù)等潔凈生產(chǎn)技術(shù)，以及對(duì)于不純金屬離子含量 ppb級(jí)的分析技術(shù)能力。

2.協(xié)作研發(fā)壁壘

由于光刻膠廠家會(huì)和原料供應(yīng)商進(jìn)行合作開發(fā)，這對(duì)供應(yīng)商的研發(fā)能力和迅速轉(zhuǎn)化成批量生產(chǎn)的能力提出了很高的要求，需要長期技術(shù)積累，企業(yè)研發(fā)人員素質(zhì)、行業(yè)經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)與客戶的溝通協(xié)作能力及技術(shù)儲(chǔ)備等的高要求構(gòu)成了新進(jìn)企業(yè)短期內(nèi)難以克服的障礙。

3.客戶認(rèn)證壁壘

原材料供應(yīng)商的認(rèn)證過程包括“小試、樣品認(rèn)證、中試、工廠現(xiàn)場審核、批量生產(chǎn)”等多個(gè)環(huán)節(jié)，認(rèn)證時(shí)間通常需要1-2年。

4.生產(chǎn)場地壁壘

光刻膠原材料是電子化學(xué)品，就產(chǎn)品用途而言，屬于電子材料行業(yè)；就生產(chǎn)工藝屬性而言，屬于精細(xì)化工行業(yè)，放大生產(chǎn)需要尋找符合條件的化工園區(qū)廠地。盡管我國部分地區(qū)的政府較支持精細(xì)化工產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，但企業(yè)選址還需考慮交通便利程度、人才招聘的難易、產(chǎn)業(yè)政策等因素，各方面綜合條件都能滿足的化工園場地仍然是稀缺資源。因此，光刻膠原材料的國產(chǎn)化，離不開光刻膠企業(yè)和晶圓廠等產(chǎn)業(yè)下游廠商扶持，更離不開國家力量的引領(lǐng)、整合與支持。

4、政策分析

我國對(duì)光刻膠及專用化學(xué)品的研究起步較晚，國家非常重視，從“六五計(jì)劃” 至今都一直將光刻膠列為國家高新技術(shù)計(jì)劃、國家重大科技項(xiàng)目。光刻膠原材料是光刻膠的基礎(chǔ)，屬于國家鼓勵(lì)、重點(diǎn)支持和優(yōu)先發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)品。光刻膠原材料的發(fā)展對(duì)于促進(jìn)光刻膠的國產(chǎn)化，提升我國微電子產(chǎn)業(yè)的自主配套能力具有重要意義。

為進(jìn)一步做好重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償試點(diǎn)工作，工信部于2021年發(fā)布了《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021版）》，其中關(guān)于光刻膠及其原料的涵蓋了半導(dǎo)體光刻膠、LCD光刻膠及相關(guān)材料：

我國各級(jí)政府給予集成電路產(chǎn)業(yè)高度重視和大力支持，出臺(tái)一系列相關(guān)政策，引導(dǎo)和推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)整體競爭力。在資金支持上，提供財(cái)政補(bǔ)貼、入股投資、引入社會(huì)資本、減稅免稅；在人才培育上，引進(jìn)專業(yè)人才，培養(yǎng)學(xué)科專業(yè)集群；在產(chǎn)業(yè)鏈完善上，建設(shè)公共服務(wù)平臺(tái)、支持流片，支持重大項(xiàng)目優(yōu)先布局，支持海外并購；在技術(shù)攻關(guān)上，支持創(chuàng)興研發(fā)、支持聯(lián)合項(xiàng)目開發(fā)與應(yīng)用等。

投資邏輯

1、未來五年內(nèi)隨著光刻膠用量的增加以及光刻膠研發(fā)投入的加大，光刻膠原材料市場的增長可期；

2、由于光刻膠原材料具有技術(shù)門檻高、單品用量小、研發(fā)投入大等特點(diǎn)，更適合已有成熟業(yè)務(wù)支撐的大企業(yè)進(jìn)行布局，目前已有的光刻膠原材料廠商主要是具備一定實(shí)力的企業(yè)，且具有相應(yīng)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ)，光刻膠領(lǐng)域的應(yīng)用是其高端產(chǎn)品線。

3、主營產(chǎn)品下游應(yīng)用領(lǐng)域以光刻膠為主且已經(jīng)具備一定規(guī)模的投資標(biāo)的具有稀缺性，初創(chuàng)企業(yè)若沒有穩(wěn)定的現(xiàn)金流作為支撐，抗風(fēng)險(xiǎn)能力會(huì)相對(duì)較弱。已經(jīng)通過下游關(guān)鍵客戶驗(yàn)證但營收規(guī)模尚不足以獨(dú)立上市的“小而美”企業(yè)具有較大的被并購潛力，技術(shù)積累較深但整體規(guī)模難以做大的海外企業(yè)也可作為潛在的并購標(biāo)的。

文章來源：梧桐樹資本PTCG；

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